클린룸 케미컬 필터Clean Room Chemical filter

온실가스 감축 솔루션

사업분야
클린룸 케미컬 필터

클린룸 케미컬 필터Clean Room Chemical filter

 

클린룸 케미컬 필터

클린룸 케미컬 필터는 각종 유해가스를 제거합니다.

미세한 생산공정이 필요한 공장의 제품 수율 향상에 도움을 줍니다.
또한 공기의 질을 개선하여 인체의 유해함을 방지합니다.

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AMCs?

AMC(Airborne molecular contamination)란 반도체 공장상의 부정적인 영향을 주는 각종 화학 오염물질(유기, 염기, 산성가스 등)을 지칭함

적용분야

  • 반도체, LCD 등 초정밀 제조공정
  • 악취 및 유해가스 발생 산업 현장
  • 병원, 박물관, 공공기관 등 청정환경을 요구하는 분야

특장점

  • 90% 이상의 높은 제거 효율과 긴 수명
  • 고객 요청에 따른 맞춤형 필터 제작
  • 제품 경량화를 통한 설치 조작의 용이함
  • 우수한 가격 경쟁력
  • 첨착 미디어에서부터 완제품 조립 및 설치까지
    Line-up 일괄 구축

필터 적용 예시

제품 소개

  • 01 CAFILDEX® SW series

    Media를 여러 겹 겹쳐 만드는 판넬형 제품으로 SW는 SandWich로 제작 방식에서 유래된 제품명입니다. SW Media는 여러 겹의 Layer로 구성되어 복합 가스 제어에 용의합니다. 프레임 재질 및 제거 가스는 고객의 요청 및 현장에 고려하여 맞춤 설계가 가능하여 고객의 만족도가 높은 제품입니다.

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  • 02 CAFILDEX® HECY series

    원통형 제품으로 설치 시 별도의 구조물(Buffer Frame) 없이 바로 설치가 가능하고 SW Media를 적용하여 SW series와 동일하게 복합 가스 제어가 가능합니다. 프레임 재질은 알루미늄 anodizing 처리된 재질을 사용하며, 주로 FFU용으로 적용됩니다.

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  • 03 CAFILDEX® TY series

    Multi-Tray Type으로 면적을 넓게 하여 낮은 압력손실의 장점이 있고, Tray는 Pellet 형태의 Media를 충진하여 제작하는 방식으로 배합 방식에 따라 다양한 가스를 제어할 수 있습니다. 또한, BOX는 SUS 재질로 반영구적 사용이 가능하고, Tray를 교체하여 운영 유지비용이 절감되는 특징이 있습니다.

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EFU(Equipment Fan filter Unit)

반도체 및 디스플레이 설비 內 파티클 및 가스를 제거하여 최적의 공정 환경을 유지합니다.

EFEM 및 설비 챔버 등 맞춤 설계를 통하여 제한적인 환경에서 최적의 Air를 균일한 유량으로 공급하여 불량 발생을 억제합니다.

기술소개

  • EFU(Fan)
  • ULPA
  • Chemical
    Filter
통합 설계를 통한 최적의 성능 구현 가능
EFEM 및 Chamber 등 설비 맞춤 설계 가능

적용 예시

 

화학소재

다양한 흡착제 및 촉매를 이용하여 물리적, 화학적 흡착 및 분해를 통해 유해가스를 선택적으로 제거합니다.

대기오염방지를 위한 산업시설부터 가정용, 차량용, 방독면 등 청정필터에 이르기까지 다양하게 적용되고 있습니다.

  • ECOSORB IAC-130

    대기 유해가스 및 산업현장 배기가스, 실험실 후드 등에 발생되는 유해가스들을 흡착 제거합니다. 산성(SOx, NOx, HCl, HF 등), 염기성(NH3, TMA), 저급 지방산류 및 오존 등 다양한 가스를 제어합니다.

  • ECOSORB IAC-900

    도료를 취급하는 공정, 접착제를 사용하는 공정, 유기용매를 사용하는 반도체, 디스플레이 공정, 또한 이를 실험하는 실험실 등에서 발생되는 다양한 유기가스(VOCs)를 흡착 제거합니다. 대표적으로 톨루엔, 벤젠, 자일렌, MEK, IPA, 아세톤, PGMEA, 뷰틸아세테이트, HMDS, 메틸렌클로라이드 등 다양한 VOCs 가스를 제어합니다.

  • ECOSORB IAC-100

    음식물 쓰레기, 정수, 하수, 폐수 처리장과 같은 공공운영 시설 및 산업현장에서 발생되는 각종 악취 유발 가스를 제거합니다. H2S, CH3SH, DMDS, 아세트알데히드, 포름알데히드, 및 저급 알데히드류 등이 다양한 가스를 제어합니다.

  • ECOSORB IAC-139

    바이오 가스화, 음식물, 하수, 폐수처리장과 같은 공공운영 시설 및 산업현장에서 발생하는 다양한 복합 악취 가스를 제거합니다. 산성, 염기성, 알데히드류, 황 화합물 가스 및 휘발성 유기화합물 가스가 포함된 22종 지정악취 물질을 제어합니다.

  • ECOSORB IAC-1390

    반도체 공정가스와 폐 가스로 발생되는 다양한 산성 및 Toxic(유해)가스 흡착하여 제거합니다.아르신(AsH3), 포스핀(PH3), CO, Cl2, F2, SiF4, GeF4, SiH4, BCl3, H2SO4, HCl, BBr3 등 다양한 가스를 제어합니다.

  • PFC 분해 촉매(NOx+N2O)

    반도체 제조 공정 중에 배출되는 PFCs 가스를 분해하기 위해서는 1,400℃ 이상의 상당히 높은 온도가 필요하였으나, 당사의 촉매는 저온 산화 분해를 유도하는 PFC 촉매를 이용하여 750℃ 이하 온도에서 99% 이상의 제거효율을 보여주는 특화된 제품입니다.

  • VOCs 산화 촉매

    도료, 접착, 코팅공정과 같은 다양한 산업분야에서 발생되는 THC는 각각의 발생원에 따라 농도, Gas 조성, Gas 량, 온도 등의 따라 크게 다르며, 당사의 VOCs 산화 촉매는 THC를 경제적, 효율적으로 제거하기 위해 저온에서 고온까지 VOCs를 산화 시킬 수 있는 촉매 개발하였습니다.

  • CO+VOCs+O3 촉매

    에코프로의 화학촉매는 산업, 가정, 공공시설에서 발생되는 다양한 유해가스를 선택적으로 촉매 산화 반응을 거쳐 무해한 가스로 분해하는 제품입니다. 산업현장 및 반도체 공정가스와 일상생활에서 발생하는 일산화탄소(CO)를 상온에서 흡착하여 촉매 산화 반응을 통하여 제거합니다.

  • 복합 악취 촉매

    에코프로의 복합 악취 촉매는 음식물폐기물, 하수, 폐수 및 분뇨처리장과 같은 공공처리시설과 바이오 가스화 시설에서 발생되는 고농도 황화합물, 알데히드류, 저급 지방산, 암모니아와 같은 복합 악취 가스를 저온 및 중온에서 (80~400℃) 촉매 산화 방식으로 분해할 수 있는 화학 촉매입니다. 즉, 화학 흡착제 및 촉매를 연계하여 악취 가스를 제거하는 Hybrid 시스템입니다.

  • SCR 촉매

    일반적으로 질소산화물은 열 병합 발전소, 화력발전소, 소각로, 산업체 보일러 등의 고정 오염원 또는 자동차, 선박엔진, 기관차 등의 오염원에서 LNG, 중유 및 경유, 석탄 등과 같은 연료의 연소에 의해 발생합니다. 에코프로의 촉매는 저온과 고온에서 90% 이상의 높은 전환율을 확보할 수 있는 특화된 촉매입니다.